EUV极紫外光源

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• 详细参数

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  由Laser nanoFab GmbH提供的极紫外（EUV）管是一种紧凑且易于使用的用于计量的极紫外光源。该光源基于先进的微焦点X射线管技术，并将其扩展到了极紫外光谱范围。
  极紫外光（EUV）的发射是由电子与固态靶材碰撞产生的。这一概念确保了无碎屑运行、性能特征明确以及出色的长期时空稳定性。
  极紫外功率
  目前，已实现高达20微瓦（2π球面度，2%带宽）的极紫外功率。
  稳定性
  极紫外光源具有出色的长期稳定性。在连续运行期间，对其波动进行了为期三天的测量，通常小于1%。
  源大小
  源尺寸小于10微米，可通过操作电压和电流进行调节。源尺寸可达100微米及以上（半高全宽）。
  接口
  该极紫外（EUV）管配有标准的DN 16 CF真空法兰，因此与您的真空装置连接十分简便。
  EUV发射锥位于法兰轴心位置。
  开放设计
  可根据客户需求进行定制化调整。
  应用；申请；应用程序
  极紫外光学元件（例如多层反射镜、掩模或滤光片）的波长特性
  表征
  ►极紫外（EUV）工具（如光谱仪和能量监测器）的同步辐射装置外校准
  ►具有高横向分辨率的极紫外成像和显微镜技术
  关键事实
  ►结构紧凑，操作简便直观
  ►无碎屑运行
  ►出色的长期时空稳定性
  ►运行成本极低
  ►计算机控制（启动、定心、聚焦、操作）
  
  排放
  极紫外（EUV）管配备了一个固态靶，电子聚焦在该靶上以产生极紫外辐射。在靶的外部，只有电子和光子存在。靶不会被烧蚀，光源也不会发射粒子碎片或离子。
  可以通过极紫外管的控制软件从加速电压、电流以及电子束在靶上的聚焦等方面来控制其发射。
  极紫外（EUV）发射光谱和功率
  该光源的发射光谱在13.5纳米处达到峰值，并在峰值附近约1纳米的范围内分布（图1中的绿色曲线）。在13.5纳米处2%的带宽内，向2π球面立体角发射的功率可达20微瓦。从该半空间发射中，在光源输出端可使用30°的角度范围。
  如果将光谱带宽缩小至13.5纳米处的2%，这可以通过两个多层膜反射镜的反射轻松实现，从而得到近乎完美的极紫外光谱（图2，蓝色曲线）。
  
  图1：极紫外灯管在12纳米至15纳米之间的发射光谱（绿色）以及经两面多层反射镜反射后光谱变窄后的光谱（蓝色）。
  极紫外光发射的稳定性
  该光源的稳定性与可靠性堪比工业级X射线管。经过短暂的预热时间后，其发射非常稳定，尤其不会出现等离子体源常见的发射波动。我们测量了三天内的波动，发现其小于1%（图2）。
  
  图2：极紫外光管运行的典型稳定性。
  带外发射
  该来源产生以下相关排放物：
  稳定目标：L2，L3约92电子伏特（极紫外光，13.5纳米）
  稳定目标：L1处于150电子伏特（8.3纳米），Kαat1.74千电子伏特和Kβat1.84千电子伏特（0.7纳米）
  来自极紫外灯管灯丝的可见光
  散射电子
  极紫外（EUV）辐射的发生是由于L2,3跃迁所致。如果不需要其他辐射，它们很容易被阻挡：K辐射可以通过在极紫外多层反射镜上反射而得到有效过滤。散射电子可以通过静磁场偏转。可见光可以通过锆（Zr）滤光片阻挡。
  固体靶材的典型损伤阈值为1至5千瓦/平方毫米。当超过损伤阈值时，靶材的损伤通常局限在几百微米的范围内。只需将靶材旋转一个小角度，即可切换到新的未受损区域。
  极紫外（EUV）管的设置及发射方向
  
  图3：带有发射锥（蓝色）的顶视图
  
  图4：带有发射锥（蓝色）的侧视图
  管头可以以四种不同的方向安装（每次旋转90°）。
  
  图5：发射锥（最大全角30°）起始于DN 16 CF法兰前表面后方15.4毫米处
  

• 详细参数

  

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。