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 探针台系统

FPD系列探针(FPD 1620)

尺寸:1550mm×1200mm×2000mm
重量:1500kg
卡盘(载物台)旋转角度:﹢/-10°
显微镜粗调:400mm×500mm
显微镜细调:25mm×25mm
气动显微镜Z向最高60mm
卡盘尺寸400mm×500mm
卡盘向外移动250mm,简易基板装载
减震器×4
尺寸可定制

手动分析探针台(APS 150/APS 200)

尺寸
APS150:580mm×460mm×700mm
APS200:660mm×660mm×700mm
重量(APS150/APS200):60kg/80kg
真空吸附卡盘:150mm/200mm不锈钢
卡盘旋转角度:0~30°(可选配细调节)
卡盘上下可移动范围:5mm
显微镜载物台移动范围:25mm×25mm
滚珠螺杆驱动测试平台
RF探测区域可升级
兼容高放大倍率显微镜

标准探针台(SPS 4/6)

尺寸
SPS4:580mm×460mm×245mm
SPS6:580mm×460mm×400mm
重量(SPS4/SPS6):41kg/45kg
真空卡盘:4"/6"不锈钢(可选配加热卡盘)
卡盘旋转角度:0~30°(可选配细调节)
卡盘上下可移动:5mm
显微镜载物台移动范围:15mm×15mm
卡盘XY向精细移动旋钮调节
RF探测区域可升级

简易探针台(EPS 4)

尺寸:350mm X 350mm X 400mm
重量:20kg
真空卡盘:4"不锈钢(可选配加热卡盘)
卡盘台移动:75mm×75mm
卡盘转动角度:0~30°
操作维修简单

迷你腔探针台(AMC 150)

尺寸: 600mm X 500mm X 600mm
重量:80kg
卡盘:6"热卡盘
温度:-30℃~200℃
显微镜载物台移动范围:25mm×25mm

显微探针

磁铁和真空可选
移动范围12mm
分辨率低至1μm
多型号可选

 


 
 
 
 
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