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 LED 曝光机

LED曝光机



应用领域 

 电子封装(晶片凸点和晶片级CSP)
 光电设备(LED光刻机,激光二极管光刻,CMOS光刻,光栅光刻,波导阵列光刻)
 探测器  (CCD,近/远 红外,实时X射线)      
 MEMS光刻机 和MOEMS 设备显示器  (LCD光刻机,TFT-LCD光刻机,OLED光刻机)
 适用与各种类型的光刻胶及Dry-film, BCB, Polyimide, SU-8
 适用与G, H, I线及深紫外曝光
   Si, SiGe, SOI, SOS, GaAs, InP, InSb, CZT, MCT,LiNbO3, 石英, 玻璃, 
   Flex, Rigid substrates (FR-4, BT-epoxy), Kapton, Metal

LED曝光机

 

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